TMD 是一種最先進的半導(dǎo)體,由硫 (S)、硒 (Se) 和碲 (Te) 等硫?qū)僭胤肿右约斑^渡金屬制成。
近日,基礎(chǔ)科學(xué)研究所(IBS)表示,韓國多維碳材料(CMCM)中心馮丁和研究團隊已經(jīng)找到了干擾大面積單晶二硫化物增強的真正標準。與來自中國的團隊合作,專家們成功釋放了核心二硫化鎢(WS2)等核心二硫化物材料,作為晶圓級單晶過渡金屬二硫化物(TMD)。引用全球經(jīng)濟 ANI 報道稱,TMD 是一種最先進的半導(dǎo)體,由硫 (S)、硒 (Se) 和碲 (Te) 等硫?qū)僭胤肿右约斑^渡金屬制成。
由于在 TMD 的外圍而不是中心存在結(jié)構(gòu)對稱點,因此在半導(dǎo)體制造過程中選擇襯底變得非常復(fù)雜。在這份研究報告中,專家和研究人員團隊展示了為 TMD 選擇優(yōu)化底層物質(zhì)的原理,并將其稱為雙耦合引導(dǎo)外延生長方法。
還發(fā)現(xiàn)對于基本上像兩個反向平行結(jié)構(gòu)的二硫化鎢(WS2),在襯底上的臺階邊緣處形成的所有WS2可以使用藍寶石襯底絕緣體以單一方向排列。而且,在臺階的邊緣,晶粒穩(wěn)定地生長,然后與襯底的大小相似,它可以制作出大面積的單晶。
在大面積的 2 英寸晶圓規(guī)模內(nèi),整個研究小組還成功地推出了二硫化鉬 (MoS2)、二硒化鎢 (WSe2) 和二硒化鉬 (MoSe2) 等 TMD。該研究的結(jié)果已被評估為加快即將到來的半導(dǎo)體材料商業(yè)化的勢頭,該結(jié)果已在納米科學(xué)《自然技術(shù)》的權(quán)威期刊上進行了報道。事實上,幾個月前 SK 海力士和三星已經(jīng)在一周前向美國商務(wù)部提供了半導(dǎo)體庫存數(shù)據(jù)和銷售數(shù)據(jù)。
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